Optomation

TGV 초미세 크랙 검사 장비

TGV Ultra-fine Crack Inspection Equipment

유리는 깨지기 전까지 멀쩡해 보입니다. 복굴절로 내부에 남은 응력과 미세 크랙을 잘라 보지 않고 찾아, 색과 수치로 보여 드립니다.

샘플을 보내 주시면 측정해 드립니다

보내 주신 샘플을 PA-micro-N 으로 측정해 결과를 정리해 드립니다. 장비 도입을 검토 중이시라면 먼저 결과를 보고 판단하실 수 있습니다.

장비 운영 상태

PA-micro-N 을 설치해 운용하고 있습니다. 샘플을 보내 주시면 측정해 드리고, 장비를 직접 보고 싶으시면 데모 일정을 잡아 드립니다.

니콘 ECLIPSE L200N 본체에 Photonic Lattice 편광 카메라를 물리고, XY 전동 스테이지(CHUO SEIKI MSS-200D)를 전용 컨트롤러와 조이스틱으로 움직입니다. 방진 광학 테이블 위에 PC까지 한 대로 묶었고, 오른쪽 화면이 측정 중인 PA-View 입니다.
니콘 ECLIPSE L200N 본체에 Photonic Lattice 편광 카메라를 물리고, XY 전동 스테이지(CHUO SEIKI MSS-200D)를 전용 컨트롤러와 조이스틱으로 움직입니다. 방진 광학 테이블 위에 PC까지 한 대로 묶었고, 오른쪽 화면이 측정 중인 PA-View 입니다.
측정에 쓰는 PA-View 화면입니다. 기준선을 잡고 측정하면 위상차와 배향각이 화소 단위로 나오고, 라인·영역 분석과 보고서 작성을 같은 화면에서 이어 갑니다.
측정에 쓰는 PA-View 화면입니다. 기준선을 잡고 측정하면 위상차와 배향각이 화소 단위로 나오고, 라인·영역 분석과 보고서 작성을 같은 화면에서 이어 갑니다.

직접 만들어 붙인 제어 프로그램

PA-micro 스테이지

복굴절 측정기의 XY 스테이지를 측정 화면 옆에서 직접 모는 제어 창

무엇을 재는가

유리 관통 전극(TGV) 기판의 잔류 응력

관통 홀 둘레에 남은 응력을 깨지 않고 잽니다. 홀별 값을 위상차로 확인합니다.

구리(Cu) 충전 이후의 응력 변화

홀에 구리를 채운 뒤 남는 응력을 잽니다. 압축과 인장을 나눠 평가합니다.

어닐링 전후 비교

열처리 전후 같은 지점을 재서 응력이 얼마나 풀렸는지 견줍니다. XY 스테이지가 좌표를 ±2µm 로 되찾으므로 같은 자리를 다시 볼 수 있습니다.

레이저 가공 손상과 미세 크랙

레이저 가공과 식각이 남긴 응력 집중부와 미세 크랙을 찾습니다. 샘플을 자르거나 깨지 않습니다.

결과를 어떤 형태로 드리는가

위상차(nm) 컬러맵

시야 전체의 위상차 분포를 색으로 봅니다. 표시 범위를 좁히면 2nm 차이까지 보입니다.

배향각(°) 분포

응력이 걸린 방향을 각도로 함께 출력합니다. 크기가 같아도 방향이 다르면 여기서 갈립니다.

응력(MPa) 환산 — 옵션 기능

위상차를 응력으로 바꾸는 것은 옵션 기능입니다. 기본 구성에서 나오는 값은 위상차와 배향각까지입니다.

라인·영역 분석과 CSV 출력

결과에서 원하는 선과 영역을 잡아 그래프와 수치로 봅니다. 그래프 데이터는 CSV 로 받아 직접 계산하실 수 있습니다.

측정 요금

발송 측정

시료를 보내 주시면 측정해 결과를 보내 드립니다. 시료 1개에 측정 지점 5곳, 위상차·주축 방위 이미지와 수치표, 원본 데이터를 드립니다.

600,000원 / 시료

추가 지점

10지점 묶음입니다. TGV 는 비아 1개가 1지점입니다.

250,000원 / 10지점

방문 측정

실험실에 오셔서 측정자와 함께 봅니다. 배율·측정 지점 수 제한이 없습니다.

1,500,000원 / 4시간 · 2,000,000원 / 8시간

직접 촬영

기본 조작 안내를 받은 뒤 장비를 직접 다뤄 촬영합니다.

방문 측정 요금의 30% 할인

분석 리포트

응력(MPa) 환산, 조건 비교 해석

200,000원 / 건

긴급 회신

발송 측정 결과를 2영업일 안에 보내 드립니다.

+40%

  • 모든 요금은 부가세 별도입니다.
  • 측정 서비스를 이용하시다가 장비를 구매하시면 최근 6개월 동안 내신 측정비를 최대 1,000만 원(부가세 별도)까지 장비 가격에서 빼 드립니다.
  • 장비 구매를 검토 중이시라면 첫 측정 1회는 무료입니다.
견적 계산기와 자세한 요금 안내 보기 →

측정 예시

유리 가공 사례 세 가지
유리 가공 사례 세 가지 — 왼쪽부터 레이저 가공이 남긴 내부 응력, 홀 가공한 휴대폰 커버 글래스(눈금 0~5nm), 유리 관통 전극(TGV) 기판(눈금 0~2nm)입니다.출처 · Photonic Lattice 제품 카탈로그에 실린 측정 예시입니다. 저희가 측정한 결과가 아닙니다.
10nm 이하 저응력 유리의 위상차 분포
10nm 이하 저응력 유리의 위상차 분포 — 응력이 낮은 유리에서도 가장자리와 중앙의 분포 차이가 드러납니다. 눈금은 0~10nm 입니다.출처 · Photonic Lattice 제품 카탈로그에 실린 측정 예시입니다. 저희가 측정한 결과가 아닙니다.
노이즈 제거 전후
노이즈 제거 전후 — 왼쪽은 신호에 묻혀 밋밋한 면으로만 보입니다. 필터를 걸면 그 아래 있던 미세한 응력 구조가 드러납니다. 작은 크랙을 찾을 때 이 차이가 판정을 가릅니다.출처 · Photonic Lattice 공식 사이트에 실린 측정 예시입니다. 저희가 측정한 결과가 아닙니다.
PA-View 측정·분석 화면
PA-View 측정·분석 화면 — 측정 결과에서 라인과 영역을 잡아 그래프와 히스토그램으로 봅니다. 3D 뷰와 포앙카레 구 표시도 같은 화면에서 함께 씁니다.출처 · Photonic Lattice 공식 사이트에 실린 소프트웨어 화면입니다.

측정 의뢰

샘플을 보내 주시면 측정 조건을 잡아 결과를 정리해 드립니다. 입고 전이라도 측정이 되는 대상인지는 먼저 검토해 답변드립니다.

  • 재질과 두께 — 유리인지 다른 투명 재료인지, 측정 파장 520nm 가 지나가는지
  • 보고 싶은 것 — 관통 홀 둘레인지, 가공 자국인지, 면 전체 분포인지
  • 샘플 크기와 수량 — 100배 대물렌즈 기준 한 화면은 70×80µm 입니다
  • 공정 단계 — 전후 비교가 필요하면 어느 두 시점을 견줄지

측정 의뢰 · dh_jang@bionlifescience.com

전화 · 010-5541-0988