Optomation
OpenStand-L 대형 시료 자동화 현미경 플랫폼
Prior Scientific

OpenStand-L 대형 시료 자동화 현미경 플랫폼

OpenStand-L Large Format Microscopy Platform

영국 Prior Scientific의 대형 시료용 플랫폼으로, H275LMT 초점 필러가 광학계를 최대 145mm 들어 올리고 HT1111LC 스테이지가 100kg까지 받아 12인치 웨이퍼나 대형 조립체를 통째로 검사합니다.

주요 특징

  • H275LMT 장행정 초점 필러(focus pillar) — 광학계 수직 이동 최대 145mm
  • 낙사 조명(Episcopic) 광로에 다위치 터렛 옵션 — 광시야 형광, 명시야·암시야 전환
  • 저배율 용도의 시판 실체현미경·매크로스코프 광학계와 호환
  • 투과 조명은 임계 조명(Critical) 중심 구성
  • 대형 전동 스테이지 H112/ST·H116 지원, HT1111LC는 하중 최대 100kg
  • 인치·미터 규격 브레드보드에 그대로 장착, Prior 스테이지 전용 마운트 제공
  • PF850 레이저 오토포커스로 초점 드라이브 또는 피에조 나노포지셔너 실시간 제어
  • C·F·T 마운트 카메라 마운트, 대물렌즈에 맞춰 교체하는 튜브 렌즈 내장

상세 사양

구성 형식대형 시료용 정립(Large Format)
초점 이동H275LMT 장행정 초점 필러, 수직 최대 145mm
지원 스테이지H112/ST, H116, HT1111LC
하중 용량최대 100kg (HT1111LC)
낙사 조명다위치 터렛 옵션, 이중 광원 입력 대응
투과 조명임계 조명(Critical) 옵션
장착 방식인치·미터 브레드보드 겸용, Prior 스테이지 전용 마운트
오토포커스PF850 레이저 오토포커스 (초점 드라이브 또는 피에조 나노포지셔너 연동)
카메라 마운트C 마운트 / F 마운트 / T 마운트, 튜브 렌즈 내장
주요 용도재료과학, 반도체 검사, 12인치 웨이퍼 스캐닝, 신경과학

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