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Nano X3 시리즈 3축 플렉셔 스테이지
Oeabt · 중국

Nano X3 시리즈 3축 플렉셔 스테이지

Nano X3 Series 3-Axis Flexure Stage

X·Y·Z 3축 모두 최대 4mm 행정을 제공하는 플렉셔 스테이지로, 버니어 마이크로미터 헤드 또는 차동 조정기, 압전 액추에이터와 조합해 광섬유 커플링 및 정밀 정렬 시스템에 사용됩니다.

주요 특징

  • X, Y, Z축 모두 최대 행정 4mm
  • 플렉셔 설계로 매끄럽고 연속적인 움직임과 장기 안정성 확보
  • 홈이 있는 상판으로 다축 스테이지 부속품의 정렬 보장
  • 콤팩트 사이즈: 112.0×112.0mm (구동기 제외)
  • SM13/SM25 버니어 마이크로미터 헤드 적용 시 버니어 눈금 이론 정밀도 10μm
  • DRP 시리즈 차동 조정기 적용 시 버니어 눈금 이론 정밀도 1μm; 모든 조정기는 공통 베이스에 결합되어 크로스토크를 최소화
  • 모듈형 설계로 외장 액추에이터의 분리·교체 가능
  • 전문 광섬유 커플링 시스템, 광섬유 정렬 또는 도파관 위치 결정 시스템에 적합
  • X, Y, Z축 조정 행정(조 조정) 4mm, 조정 행정(압전) 20µm
  • 고정 장착 브래킷으로 스테이지의 장착면 확장
  • Nano X3 시리즈 3축 스테이지의 고정부에 직접 연결
  • 광섬유 커플링 시스템 구축에 주로 사용
  • 직각 브래킷으로 측면 장착면 추가
  • Nano X 시리즈 3축 스테이지의 고정 상판을 대체
  • 상면에 표준 슬롯, M4 7개·M3 8개 장착 구멍
  • SM1(1.035"-40) 암나사
  • Ø1인치 슬리브 시리즈 및 SM1 나사 광섬유 어댑터 플레이트와 함께 사용하기에 적합
  • Nano X3 시리즈 플렉셔 스테이지와 호환
  • 광축 높이 18mm
  • FC 커넥터, 폭 2.2mm 키홈
  • SMA 페룰 인터페이스
  • Ø150~Ø341µm 베어 광섬유를 고정하는 V홈 설계
  • 자석으로 클램프 암 고정
  • Nano 시리즈 플렉셔 스테이지 및 OPS-3XAM 광섬유 커플링 플레이트와 호환
  • 하단 M4 나사 구멍에 연결봉 장착 가능
  • V홈에 Ø150~Ø341µm 광섬유 고정 가능
  • 스테인리스 스틸 실심, 자성 압착 블록으로 고정
  • 테이퍼 팁으로 커플링 작업 시 광섬유 취급 용이

모델 구성

모델명사양참고 단가자료
Nano X3-MASM13 버니어 마이크로미터 헤드약 1,226,368원
Nano X3-MBSM25 버니어 마이크로미터 헤드약 1,287,000원
Nano X3-MC2DRP31-C 차동 조정기약 1,811,238원
Nano X3-MDDRL51-C 차동 조정기약 1,876,160원
3X-AM56.0×62.5×62.5mm약 76,076원
3X-AM268.0×60.0×58.5mm약 76,076원
HCS132.1×13.4×35.0mm약 37,466원
HCFCFC 인터페이스약 38,610원
HCSMASMA 인터페이스약 38,610원
HC-HF32.0×15.0×27.8mm약 108,680원
FH-VG82.5×32.0×13.8mm약 132,418원

* 위 금액은 환율과 배송·부대비용을 반영해 환산한 참고 금액입니다. 실제 환율 변동에 따라 금액이 달라질 수 있습니다.

상세 사양

조정기SM13 마이크로미터 헤드
조 조정 이송량500μm/회전
중량781.6g
규격112.0×112.0×62.5mm (구동기 제외)
상판 크기60.0×60.0mm
조정 행정XYZ축 4mm
재질7075 알루미늄 합금
조정 행정(2)4mm(조 조정); 20µm(압전 구동기)
조정기(2)SM13 버니어 마이크로미터 헤드, 압전 구동기
제어 방식개루프
전압 범위0-75V
이론 분해능20nm
양방향 반복정밀도200nm
이송량10μm/눈금, 500μm/회전
중량(2)828.0g