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Nano X3 시리즈 3축 플렉셔 스테이지

Nano X3 Series 3-Axis Flexure Stage

X·Y·Z 3축 모두 최대 4mm 행정을 제공하는 플렉셔 스테이지로, 버니어 마이크로미터 헤드 또는 차동 조정기, 압전 액추에이터와 조합해 광섬유 커플링 및 정밀 정렬 시스템에 사용됩니다.

주요 특징

X, Y, Z축 모두 최대 행정 4mm
플렉셔 설계로 매끄럽고 연속적인 움직임과 장기 안정성 확보
홈이 있는 상판으로 다축 스테이지 부속품의 정렬 보장
콤팩트 사이즈: 112.0×112.0mm (구동기 제외)
SM13/SM25 버니어 마이크로미터 헤드 적용 시 버니어 눈금 이론 정밀도 10μm
DRP 시리즈 차동 조정기 적용 시 버니어 눈금 이론 정밀도 1μm; 모든 조정기는 공통 베이스에 결합되어 크로스토크를 최소화
모듈형 설계로 외장 액추에이터의 분리·교체 가능
전문 광섬유 커플링 시스템, 광섬유 정렬 또는 도파관 위치 결정 시스템에 적합
X, Y, Z축 조정 행정(조 조정) 4mm, 조정 행정(압전) 20µm
고정 장착 브래킷으로 스테이지의 장착면 확장
Nano X3 시리즈 3축 스테이지의 고정부에 직접 연결
광섬유 커플링 시스템 구축에 주로 사용
직각 브래킷으로 측면 장착면 추가
Nano X 시리즈 3축 스테이지의 고정 상판을 대체
상면에 표준 슬롯, M4 7개·M3 8개 장착 구멍
SM1(1.035"-40) 암나사
Ø1인치 슬리브 시리즈 및 SM1 나사 광섬유 어댑터 플레이트와 함께 사용하기에 적합
Nano X3 시리즈 플렉셔 스테이지와 호환
광축 높이 18mm
FC 커넥터, 폭 2.2mm 키홈
SMA 페룰 인터페이스
Ø150~Ø341µm 베어 광섬유를 고정하는 V홈 설계
자석으로 클램프 암 고정
Nano 시리즈 플렉셔 스테이지 및 OPS-3XAM 광섬유 커플링 플레이트와 호환
하단 M4 나사 구멍에 연결봉 장착 가능
V홈에 Ø150~Ø341µm 광섬유 고정 가능
스테인리스 스틸 실심, 자성 압착 블록으로 고정
테이퍼 팁으로 커플링 작업 시 광섬유 취급 용이

모델 구성

11개 모델

모델명	사양	참고 단가	자료
Nano X3-MA	SM13 버니어 마이크로미터 헤드	약 1,680,896원	📄 도면 🧊 3D 모델 🖨 STL
Nano X3-MB	SM25 버니어 마이크로미터 헤드	약 1,764,000원	📄 도면
Nano X3-MC2	DRP31-C 차동 조정기	약 2,482,536원	—
Nano X3-MD	DRL51-C 차동 조정기	약 2,571,520원	—
3X-AM	56.0×62.5×62.5mm	약 104,272원	📄 도면
3X-AM2	68.0×60.0×58.5mm	약 104,272원	📄 도면
HCS1	32.1×13.4×35.0mm	약 51,352원	📄 도면
HCFC	FC 인터페이스	약 52,920원	📄 도면
HCSMA	SMA 인터페이스	약 52,920원	📄 도면
HC-HF	32.0×15.0×27.8mm	약 148,960원	—
FH-VG	82.5×32.0×13.8mm	약 181,496원	📄 도면 🧊 3D 모델 🖨 STL

* 위 금액은 환율과 관세·부가세·배송 비용을 반영해 환산한 참고 금액입니다. 실제 환율 변동에 따라 금액이 달라질 수 있습니다.

문의사항 · dh_jang@bionlifescience.com

상세 사양

조정기	SM13 마이크로미터 헤드
조 조정 이송량	500μm/회전
중량	781.6g
규격	112.0×112.0×62.5mm (구동기 제외)
상판 크기	60.0×60.0mm
조정 행정	XYZ축 4mm
재질	7075 알루미늄 합금
조정 행정(2)	4mm(조 조정); 20µm(압전 구동기)
조정기(2)	SM13 버니어 마이크로미터 헤드, 압전 구동기
제어 방식	개루프
전압 범위	0-75V
이론 분해능	20nm
양방향 반복정밀도	200nm
이송량	10μm/눈금, 500μm/회전
중량(2)	828.0g