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Nano X3 시리즈 3축 플렉셔 스테이지
Nano X3 Series 3-Axis Flexure Stage
X·Y·Z 3축 모두 최대 4mm 행정을 제공하는 플렉셔 스테이지로, 버니어 마이크로미터 헤드 또는 차동 조정기, 압전 액추에이터와 조합해 광섬유 커플링 및 정밀 정렬 시스템에 사용됩니다.
주요 특징
- X, Y, Z축 모두 최대 행정 4mm
- 플렉셔 설계로 매끄럽고 연속적인 움직임과 장기 안정성 확보
- 홈이 있는 상판으로 다축 스테이지 부속품의 정렬 보장
- 콤팩트 사이즈: 112.0×112.0mm (구동기 제외)
- SM13/SM25 버니어 마이크로미터 헤드 적용 시 버니어 눈금 이론 정밀도 10μm
- DRP 시리즈 차동 조정기 적용 시 버니어 눈금 이론 정밀도 1μm; 모든 조정기는 공통 베이스에 결합되어 크로스토크를 최소화
- 모듈형 설계로 외장 액추에이터의 분리·교체 가능
- 전문 광섬유 커플링 시스템, 광섬유 정렬 또는 도파관 위치 결정 시스템에 적합
- X, Y, Z축 조정 행정(조 조정) 4mm, 조정 행정(압전) 20µm
- 고정 장착 브래킷으로 스테이지의 장착면 확장
- Nano X3 시리즈 3축 스테이지의 고정부에 직접 연결
- 광섬유 커플링 시스템 구축에 주로 사용
- 직각 브래킷으로 측면 장착면 추가
- Nano X 시리즈 3축 스테이지의 고정 상판을 대체
- 상면에 표준 슬롯, M4 7개·M3 8개 장착 구멍
- SM1(1.035"-40) 암나사
- Ø1인치 슬리브 시리즈 및 SM1 나사 광섬유 어댑터 플레이트와 함께 사용하기에 적합
- Nano X3 시리즈 플렉셔 스테이지와 호환
- 광축 높이 18mm
- FC 커넥터, 폭 2.2mm 키홈
- SMA 페룰 인터페이스
- Ø150~Ø341µm 베어 광섬유를 고정하는 V홈 설계
- 자석으로 클램프 암 고정
- Nano 시리즈 플렉셔 스테이지 및 OPS-3XAM 광섬유 커플링 플레이트와 호환
- 하단 M4 나사 구멍에 연결봉 장착 가능
- V홈에 Ø150~Ø341µm 광섬유 고정 가능
- 스테인리스 스틸 실심, 자성 압착 블록으로 고정
- 테이퍼 팁으로 커플링 작업 시 광섬유 취급 용이
모델 구성
| 모델명 | 사양 | 참고 단가 | 자료 |
|---|---|---|---|
| Nano X3-MA | SM13 버니어 마이크로미터 헤드 | 약 1,226,368원 | |
| Nano X3-MB | SM25 버니어 마이크로미터 헤드 | 약 1,287,000원 | |
| Nano X3-MC2 | DRP31-C 차동 조정기 | 약 1,811,238원 | — |
| Nano X3-MD | DRL51-C 차동 조정기 | 약 1,876,160원 | — |
| 3X-AM | 56.0×62.5×62.5mm | 약 76,076원 | |
| 3X-AM2 | 68.0×60.0×58.5mm | 약 76,076원 | |
| HCS1 | 32.1×13.4×35.0mm | 약 37,466원 | |
| HCFC | FC 인터페이스 | 약 38,610원 | |
| HCSMA | SMA 인터페이스 | 약 38,610원 | |
| HC-HF | 32.0×15.0×27.8mm | 약 108,680원 | — |
| FH-VG | 82.5×32.0×13.8mm | 약 132,418원 |
* 위 금액은 환율과 배송·부대비용을 반영해 환산한 참고 금액입니다. 실제 환율 변동에 따라 금액이 달라질 수 있습니다.
상세 사양
| 조정기 | SM13 마이크로미터 헤드 |
| 조 조정 이송량 | 500μm/회전 |
| 중량 | 781.6g |
| 규격 | 112.0×112.0×62.5mm (구동기 제외) |
| 상판 크기 | 60.0×60.0mm |
| 조정 행정 | XYZ축 4mm |
| 재질 | 7075 알루미늄 합금 |
| 조정 행정(2) | 4mm(조 조정); 20µm(압전 구동기) |
| 조정기(2) | SM13 버니어 마이크로미터 헤드, 압전 구동기 |
| 제어 방식 | 개루프 |
| 전압 범위 | 0-75V |
| 이론 분해능 | 20nm |
| 양방향 반복정밀도 | 200nm |
| 이송량 | 10μm/눈금, 500μm/회전 |
| 중량(2) | 828.0g |