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FB203·FB210 시리즈 Z축 전동 리니어 스테이지
Prior Scientific

FB203·FB210 시리즈 Z축 전동 리니어 스테이지

FB203 / FB210 Series Motorized Linear Stage

무백래시 볼스크류로 Z축을 38mm 또는 50mm 움직이는 전동 리니어 액추에이터로, 하중 14kg을 받으면서 서브마이크론 반복정밀도를 내며 FB204·FB205·FB206 스테이지 포커싱 마운트의 기본 축이 됩니다.

주요 특징

  • Z축 행정 38mm(FB203) 또는 50mm(FB210)
  • 분해능 20nm, 전행정 반복정밀도 ±0.7µm
  • 무백래시 순환식 볼스크류 구동
  • 하중 용량 14kg — 커스텀 마운트와 각종 XY 플랫폼에 대응
  • 인코더 사양(FB203E·FB210E)은 0.1µm 리니어 인코더로 장거리 반복정밀도 확보
  • 장착 구멍 다수 — OEM 설계·커스텀 장비에 그대로 조립
  • 대물렌즈를 치워 시료에 접근하기 쉬운 긴 행정
  • Prior 전동 XY 스테이지와 조합, 복합 하중용 동기 이중 초점 구동 사양(H189 XYZ 데크)도 제공

모델 구성

4개 모델
모델명사양참고 단가자료
FB203행정 38mm · 분해능 20nm · 반복정밀도 ±0.7µm · 진직도 ±3.5µm · 전행정 정확도 <5µm · 인코더 없음 · 165×92×66mm(최소 위치)문의
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FB203E행정 38mm · 분해능 20nm · 반복정밀도 ±0.7µm · 진직도 ±3.5µm · 전행정 정확도 <5µm · 0.1µm 인코더 · 165×92×66mm(최소 위치)문의
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FB210행정 50mm · 분해능 20nm · 반복정밀도 ±0.7µm · 진직도 ±4.6µm · 전행정 정확도 <6.5µm · 인코더 없음 · 165×104×66mm(최소 위치)문의
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FB210E행정 50mm · 분해능 100nm · 반복정밀도 ±0.3µm · 진직도 ±4.6µm · 전행정 정확도 <6.5µm · 리니어 인코더 탑재 · 177×155×143mm(최소 위치)문의
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* 위 금액은 제조사가 공개한 정가입니다. 구성과 수량에 따라 달라지므로 문의해 주시면 견적을 드립니다.

상세 사양

구동 방식무백래시 순환식 볼스크류
행정 범위38mm (FB203·FB203E) / 50mm (FB210·FB210E)
속도 범위(최대 하중)1 - 14mm/s
하중 용량14kg
케이블 길이1m

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