Prior Scientific
WP120 시리즈 웨이퍼 피에조 스테이지
WP120A / WP120B Wafer Piezo Stage
12인치(300mm) 웨이퍼를 얹고 하중 8kg을 받으면서 Z축 120µm를 나노미터 반복정밀도로 움직이는 피에조 스테이지로, 반도체 검사와 진공 환경 주사전자현미경에 씁니다.
주요 특징
- 12인치(300mm) 웨이퍼 탑재, 하중 최대 8kg
- 폐루프 Z 이동범위 120µm, 반복정밀도 5.5nm
- 정전용량 센서로 이동 플랫폼을 직접 측정 — 나노미터 단위 폐루프 제어
- 마찰 없는 플렉셔 가이드 — 밀리초 응답, 높은 대역폭
- WP120A는 고진공(HV) 환경 대응, 저아웃가스 Kapton 케이블 옵션으로 초고진공(UHV·UHV-RAD)까지
- WP120B는 평행 기구학 삼각대 구조로 ±50µrad 시료 레벨링, 스캔 중 피치·롤 오차 2µrad 미만
- WP120B는 웨이퍼 리프트핀이 지나갈 관통 구멍 제공
- Prior OpenStand-L, ProScan H112 대형 스테이지, PureFocus850과 조합
모델 구성
2개 모델| 모델명 | 사양 | 참고 단가 | 자료 |
|---|---|---|---|
| WP120A | 단축(Z) · 폐루프 120µm · 위치 잡음 1.2nm · 선형성 0.1% · 재질 알루미늄/스테인리스 · 고진공(HV) 대응, UHV용 저아웃가스 Kapton 케이블 옵션 | 문의 | — |
| WP120B | Z + 틸트 · 개루프 Z 140µm / 폐루프 Z 120µm(±60µm) · 폐루프 틸트 100µrad(±50µrad) · 선형성 오차 0.06~0.15% · 롤·피치·요 2µrad · 공진주파수 320Hz(무부하) / 190Hz(5.2kg) / 155Hz(8kg) · 재질 알루미늄 | 문의 | — |
* 위 금액은 제조사가 공개한 정가입니다. 구성과 수량에 따라 달라지므로 문의해 주시면 견적을 드립니다.
문의사항 · dh_jang@bionlifescience.com
상세 사양
| 폐루프 Z 이동범위 | 120µm |
| 반복 정밀도 | 5.5nm |
| 스텝 정정시간 | 9ms |
| 하중 용량 | 최대 8kg |
| 크기 | 375×375×30mm (L×W×H) |
| 스테이지 질량 | 5.8kg (케이블 제외) |
| 조합 장비 | OpenStand-L, ProScan H112 대형 XY 스테이지, PureFocus850 |
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