2026년 삼성 요소기술 전시회 실장 구성
PA-micro-N 전동 현미경 복굴절·응력 측정 시스템
PA-micro-N Motorized Microscope Birefringence Measurement System
니콘 ECLIPSE L200ND 현미경에 편광 이미지 센서를 결합해 유리 내부의 미세 크랙과 잔류 응력을 최대 100배 배율로 측정합니다. XY 전동 스테이지가 ±100mm 범위를 반복 정밀도 ±2µm로 이송하므로, 좌표를 기록해 두면 공정 전후의 같은 지점을 다시 찾아 비교할 수 있습니다.
주요 특징
- XY 전동 스테이지 ±100mm · 분해능 2µm · 반복 정밀도 ±2µm — 좌표로 같은 지점을 다시 찾습니다
- 니콘 ECLIPSE L200ND 기반, 반사·투과 조명 모두 지원하고 6홀 전동 레볼버 탑재
- 2·5·10·20·50·100배 대물렌즈 구성 — 100배에서 70×80µm까지 확대 관찰
- 1회 촬영으로 위상차 계산에 필요한 편광 정보를 직접 취득
- 위상차(nm)와 배향각(°)을 화소 단위로 출력, 옵션으로 응력값(MPa) 환산
- 레이저 가공·식각 후 남은 미세 크랙과 응력 집중부를 비파괴로 검출
- 명시야·암시야·간이 편광·미분 간섭 관찰을 같은 본체에서 전환
- 스테이지는 전용 2축 컨트롤러로 제어합니다 — 촬영·이동·저장·판정을 하나의 흐름으로 묶는 자동 검사는 제어 소프트웨어를 별도로 구성해 구현합니다
모델 구성
2개 모델| 모델명 | 사양 | 참고 단가 | 자료 |
|---|---|---|---|
| PA-micro-N | 전자동 현미경 타입 · XY 전동 스테이지 ±100mm · 시야 70×80µm ~ 약 3.5×4.2mm니콘 ECLIPSE L200ND 기반, 100배 대물렌즈 포함. 투과 관찰은 유리 플레이트 옵션으로 대응합니다 | 문의 | — |
| PA-micro | 현미경 타입 · 수동 스테이지 · 시야 140×170µm ~ 약 3.5×4.2mm100배 대물렌즈 옵션 적용 시 70×80µm | 문의 | — |
* 위 금액은 제조사가 공개한 정가입니다. 구성과 수량에 따라 달라지므로 문의해 주시면 견적을 드립니다.
문의사항 · dh_jang@bionlifescience.com
상세 사양
| 측정 방식 | 편광 이미지 센서 (0°·45°·90°·135° 4방위 편광자) |
| 출력 항목 | 위상차(nm), 배향각(°), 응력(MPa · 옵션) |
| 측정 범위 | 0~130nm |
| 반복 재현성 | σ < 1.0nm |
| 복굴절 화소수 | 2056 × 2464 (약 500만 화소) |
| 측정 파장 | 520nm |
| 시야 | 70×80µm (100배) ~ 약 3.5×4.2mm (2배) |
| 대물렌즈 | 2·5·10·20·50·100배 (CFI60 계열) |
| 현미경 본체 | 니콘 ECLIPSE L200ND · Φ200mm 대응 · 반사/투과 조명 |
| 레볼버 | 6홀 전동 유니버셜 |
| 초점 기구 | 스트로크 29mm · 조동 12.7mm/회전 · 미동 0.1mm/회전 (1µm/눈금) |
| XY 전동 스테이지 이동량 | XY 각 ±100mm (스테이지 면 355 × 305mm) |
| 스테이지 분해능 | 0.002mm (2µm) |
| 스테이지 반복 정밀도 | ±0.002mm |
| 스테이지 위치결정 정밀도 | 1/10 스트로크 X·Y 0.015mm / 풀 스트로크 X 0.060mm, Y 0.050mm |
| 스테이지 이송 | 볼나사 리드 1mm · V홈 및 크로스롤러 가이드 · 최고 40mm/s |
| 스테이지 제어 | 전용 2축 컨트롤러 (PC 직접 제어 아님) |
| 관찰 방식 | 명시야, 암시야, 간이 편광, 미분 간섭 |
| 인터페이스 | GigE (카메라 신호) |
| 소프트웨어 | PA-View |
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