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ADR 시리즈 리니어 모터 현미경 XY 스테이지
Zaber

ADR 시리즈 리니어 모터 현미경 XY 스테이지

ADR Family Linear Motor Microscope XY Stage

캐나다 Zaber의 비접촉 직접구동 현미경 XY 스테이지로, 1nm 리니어 엔코더로 위치를 직접 읽어 0.5µm 미만 반복정밀도와 50nm 최소 이동량을 냅니다.

주요 특징

  • 비접촉 직접구동 모터 — 고속·저소음·긴 수명
  • 1nm 리니어 엔코더로 위치를 직접 측정하고 보정
  • 최소 이동량 50nm
  • 내장 컨트롤러 모델 제공
  • 디지털 입력 1개·출력 2개
  • Micro-Manager 오픈소스 현미경 소프트웨어 호환
  • 저발진 설계로 클린룸(ISO Class 4) 대응

모델 구성

1개 모델
모델명사양참고 단가자료
X-ADR-AE이동범위 130×100mm / 250×100mm, 내장 컨트롤러문의
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* 위 금액은 제조사가 공개한 정가입니다. 구성과 수량에 따라 달라지므로 문의해 주시면 견적을 드립니다.

상세 사양

이동범위130×100mm / 250×100mm
정확도< 0.5µm
반복정밀도< 0.5µm
최소 이동량50nm
최대 속도750mm/s
하중 용량50N
엔코더1nm 리니어 엔코더
구동 방식비접촉 직접구동 리니어 모터

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