현미경 자동화 시스템
표본 이송, 초점 조절, 대물 전환, 형광 필터 전환, 조명, 촬영을 한 제어 아래로 묶는 현미경 구성입니다. 예산과 요구 정밀도에 따라 두 가지로 제안드립니다.
두 구성 모두 같은 기능 자리를 채웁니다 — 스테이지 · 초점 · 대물 전환 · 형광 필터 · 조명 · 카메라. 일반 검사·품질관리나 자체 조립 장비에는 가성비 구성을, 서브마이크론 급 반복정밀도와 고속 스크리닝이 필요한 연구 용도에는 고정밀 구성을 권장합니다.
XYZ 전동 플랫폼 한 세트에 대물 터렛과 형광 필터 터렛, LED 광원, 튜브 렌즈, 카메라를 얹어 한 대를 구성합니다. 플랫폼이 XY 80×80mm·Z ±7.5mm를 ±5µm로 잡아 주므로 기구 정렬을 처음부터 잡을 필요가 없고, LED가 컨트롤러 분리형이라 촬영과 조명을 트리거로 묶을 자리가 처음부터 있습니다.
리니어 모터 스테이지가 1nm 엔코더로 위치를 직접 읽어 반복정밀도 0.5µm 미만을 내고, 현미경 코어가 전동 초점(최소 이동 20nm)과 6포지션 필터 터렛을 함께 담습니다. 대물은 터렛 전체가 아니라 대물 하나만 움직여 바꾸고, 레이저 오토포커스가 장시간 촬영에서 초점을 유지합니다. 카메라는 29mm 시야에서 500fps를 내는 sCMOS입니다. 시야가 넓으면 같은 면적을 더 적은 타일로 훑어 스테이지가 그만큼 덜 움직이는데, 스크리닝에서는 그 이동 횟수가 곧 소요 시간입니다.
* 위 금액은 환율과 관세·부가세·배송 비용을 반영해 환산한 참고 금액입니다. 실제 환율 변동에 따라 금액이 달라질 수 있습니다.