Prior Scientific
ProScan H112·H116 시리즈 대형 전동 XY 스테이지
ProScan H112 / H116 Series Large Format Motorized XY Stage
정립 산업용 현미경을 위한 대형 스테이지로, 8인치(255×215mm)와 12인치(302×302mm) 이동범위에 하중 25kg을 받아 웨이퍼나 대형 금속 시료를 통째로 스캔합니다.
주요 특징
- 이동범위 255×215mm(8인치급, H116·HE16) 또는 302×302mm(12인치급, H112/2ST)
- 하중 용량 25kg — 웨이퍼·대형 금속 시료 대응
- 최대 속도 60mm/s
- 인코더 사양(HE16·H112/2ST 인코더형)은 0.1µm 리니어 인코더로 양방향 반복정밀도 개선
- Prior 특허 지능형 스캐닝 기술(IST) 적용
- Nikon·Evident/Olympus MX 산업용 현미경 전용 사양 제공
- OpenStand-L 대형 시료 플랫폼과 조합
모델 구성
4개 모델| 모델명 | 사양 | 참고 단가 | 자료 |
|---|---|---|---|
| H116/2 · H116/2OL · H116/2 (Nikon) | 이동범위 255×215mm · 인코더 없음 · 분해능 0.04µm · 단방향 <0.6µm · 양방향 <3.0µm · 정확도 0.14µm/mm(전행정 <30.9µm) · 직각도 <45 arcsec · 8kg | 문의 | — |
| HE16/2 · HE16/2OL · HE16/2 (Nikon) | 이동범위 255×215mm · 0.1µm 리니어 인코더 · 분해능 0.1µm · 단방향 <0.6µm · 양방향 <0.9µm · 정확도 0.10µm/mm(전행정 <21.3µm) · 직각도 <45 arcsec · 8kg | 문의 | — |
| H112/2ST (비인코더) | 이동범위 302×302mm · 인코더 없음 · 분해능 0.04µm · 단방향 <1.4µm · 양방향 <4.1µm · 정확도 0.20µm/mm(전행정 <60.0µm) · 직각도 <55 arcsec · 13kg | 문의 | — |
| H112/2ST (인코더) | 이동범위 302×302mm · 0.1µm 리니어 인코더 · 분해능 0.1µm · 단방향 <0.9µm · 양방향 <1.8µm · 정확도 0.15µm/mm(전행정 <45.0µm) · 직각도 <40 arcsec · 13kg | 문의 | — |
* 위 금액은 제조사가 공개한 정가입니다. 구성과 수량에 따라 달라지므로 문의해 주시면 견적을 드립니다.
문의사항 · dh_jang@bionlifescience.com
상세 사양
| 하중 용량 | 25kg |
| 최대 속도 | 60mm/s |
| 모터 유형 | 200 스텝, 스크류 피치 2mm |
| 중량 | 8kg (H116·HE16) / 13kg (H112/2ST) |
| 호환 현미경 (접미 코드) | 무접미 = 범용 · OL = Evident/Olympus MX 산업용 · Nikon 전용 사양 별도 |
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