Prior Scientific
ProScan H105·HE05 시리즈 6인치 산업용 전동 XY 스테이지
ProScan H105 / HE05 Series Motorized XY Stage
154×154mm를 움직여 6인치 웨이퍼를 통째로 스캔하는 산업용 전동 XY 스테이지로, 반도체·금속 검사에 맞춰 비인코더형과 0.1µm 리니어 인코더형을 나눠 제공합니다.
주요 특징
- 이동범위 154×154mm — 6인치 웨이퍼 전면 스캔
- 하중 10kg, 중량 약 5kg
- 비인코더형(H105) 분해능 0.04µm, 인코더형(HE05) 0.1µm 리니어 인코더
- 인코더형은 양방향 반복정밀도 <1.1µm, 정확도 0.09µm/mm
- 최대 속도 60mm/s (플랫탑 H105N2F는 40mm/s)
- 플랫탑 사양(H105N2F) — 상판이 평평해 대형 시료 로딩이 쉬움
- Evident/Olympus MX·Zeiss·Nikon LV100·LV150 산업용 현미경별 전용 사양
- Prior 특허 지능형 스캐닝 기술(IST) 적용
모델 구성
5개 모델| 모델명 | 사양 | 참고 단가 | 자료 |
|---|---|---|---|
| H105/2U · H105/2OL · H105/2ZL | 비인코더 · 분해능 0.04µm · 단방향 <1.0µm · 양방향 <3.3µm · 정확도 0.13µm/mm(전행정 <19.3µm) · 직각도 <50 arcsec · 60mm/s · 5kg | 문의 | — |
| H105NL/2 | Nikon LV100·LV150용 · 비인코더 · 분해능 0.04µm · 단방향 <0.7µm · 양방향 <2.7µm · 정확도 0.17µm/mm(전행정 <25µm) · 직각도 <45 arcsec · 60mm/s · 5kg | 문의 | — |
| H105N2F (플랫탑, 비인코더) | 분해능 0.04µm · 단방향 <0.9µm · 양방향 <3.6µm · 정확도 <0.21µm/mm(전행정 <21.8µm) · 직각도 40 arcsec · 40mm/s · 4.8kg | 문의 | — |
| H105N2F (플랫탑, 인코더) | 0.1µm 리니어 인코더 · 분해능 0.1µm · 단방향 <0.6µm · 양방향 <0.9µm · 정확도 <0.12µm/mm(전행정 <12.8µm) · 직각도 25 arcsec · 40mm/s · 4.8kg | 문의 | — |
| HE05/2U · HE05/2OL · HE05/2ZL | 0.1µm 리니어 인코더 · 분해능 0.1µm · 단방향 <0.9µm · 양방향 <1.1µm · 정확도 0.09µm/mm(전행정 <16.8µm) · 직각도 <40 arcsec · 60mm/s | 문의 | — |
* 위 금액은 제조사가 공개한 정가입니다. 구성과 수량에 따라 달라지므로 문의해 주시면 견적을 드립니다.
문의사항 · dh_jang@bionlifescience.com
상세 사양
| 이동범위 | 154×154mm |
| 하중 용량 | 10kg |
| 모터 유형 | 200 스텝, 스크류 피치 2mm |
| 호환 현미경 (접미 코드) | U = 범용 정립 산업용 · OL = Evident/Olympus MX · ZL = Zeiss · NL = Nikon LV100·LV150 · N2F = 플랫탑 범용 |
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